掩膜版精密检测

高行频 TDI 支撑掩膜版图案对比与缺陷定位，满足先进制程光学量测需求。

本案例与鑫图 TDI 相机 系列相关。相机需在信噪比、视场与采集速度之间取得平衡，以支撑课题中的定量成像或在线检测需求。

该案例体现了科学级相机在真实课题中的部署方式，可作为同类系统选型的参考。